【蕭文康╱新竹報導】晶圓缺陷檢測大廠科磊（KLA-Tencor）昨來台召開會議，因科磊在光學檢測上具市場領導地位，是台廠主攻電子束檢測的漢微科（3658）主要競爭對手而受到市場注目。不過，科磊行銷長Brian Trafas昨強調，光學及電子束檢測互補較符合客戶需求，光學檢測不會被電子束取代，化解市場疑慮。

與電子束互補

科磊昨來台舉行年度良率管理論壇，市場關注科磊如何面對漢微科在電子束檢測上的競爭。對此，Brian Trafas指出，晶圓廠從小量生產到大量生產的過程中，因電子束檢測速度較慢，較適合小量生產，但在大量生產過程中，可能就需要檢測速度快的電漿掃描及雷射掃描等光學檢測，因此，光學及電子束檢測應該是互補。
Brian Trafas說，科磊無論是在電漿掃描及雷射掃描等光學檢測都有豐富的產品線，也早就在1985年開始發展電子束檢測領域，不過，即使漢微科在市場上推出具有8~10束多槍式電子束技術產品，他仍認為檢測速度仍遠不及光學檢測。
Brian Trafas舉例，若在12吋晶圓上要找到10奈米大小的缺陷，就像是在直徑600平方公里的區域尋找1枚台幣5角的大小，以廣視角的電漿掃描、雷射掃描設備約可在1小時內找到，但以電子束的速度可能約需要1年。
科磊台灣總經理張水榮指出，晶圓檢測設備商最主要的任務就是協助客戶快速提高良率，光學或電子束在技術本身並無優劣之分，而是要與客戶合作如何使用最佳的技術在不同的製程階段、以最快速的方法解決客戶的晶圓缺陷問題。
面對外界預期在晶圓廠技術朝向10奈米甚至7奈米以下製程後，光學檢測可能被電子束取代問題上，Brian Trafas重申，與其主張「電子束檢測將取代光學檢測」，不如說「電子束與光學檢測在半導體製程上呈現互補」較為適當，而科磊具有完整的產品線及解決方案，更能符合客戶的需求。