2013年08月22日 
科磊昨來台舉行年度良率管理論壇,單挑漢微科,強調光學檢測不會被電子束取代。左起科磊行銷長Brian Trafas、台灣總經理張水榮。蕭榕攝

【蕭文康╱新竹報導】晶圓缺陷檢測大廠科磊(KLA-Tencor)昨來台召開會議,因科磊在光學檢測上具市場領導地位,是台廠主攻電子束檢測的漢微科(3658)主要競爭對手而受到市場注目。不過,科磊行銷長Brian Trafas昨強調,光學及電子束檢測互補較符合客戶需求,光學檢測不會被電子束取代,化解市場疑慮。

科磊和漢微科營運比較

與電子束互補

科磊昨來台舉行年度良率管理論壇,市場關注科磊如何面對漢微科在電子束檢測上的競爭。對此,Brian Trafas指出,晶圓廠從小量生產到大量生產的過程中,因電子束檢測速度較慢,較適合小量生產,但在大量生產過程中,可能就需要檢測速度快的電漿掃描及雷射掃描等光學檢測,因此,光學及電子束檢測應該是互補。
Brian Trafas說,科磊無論是在電漿掃描及雷射掃描等光學檢測都有豐富的產品線,也早就在1985年開始發展電子束檢測領域,不過,即使漢微科在市場上推出具有8~10束多槍式電子束技術產品,他仍認為檢測速度仍遠不及光學檢測。
Brian Trafas舉例,若在12吋晶圓上要找到10奈米大小的缺陷,就像是在直徑600平方公里的區域尋找1枚台幣5角的大小,以廣視角的電漿掃描、雷射掃描設備約可在1小時內找到,但以電子束的速度可能約需要1年。
科磊台灣總經理張水榮指出,晶圓檢測設備商最主要的任務就是協助客戶快速提高良率,光學或電子束在技術本身並無優劣之分,而是要與客戶合作如何使用最佳的技術在不同的製程階段、以最快速的方法解決客戶的晶圓缺陷問題。
面對外界預期在晶圓廠技術朝向10奈米甚至7奈米以下製程後,光學檢測可能被電子束取代問題上,Brian Trafas重申,與其主張「電子束檢測將取代光學檢測」,不如說「電子束與光學檢測在半導體製程上呈現互補」較為適當,而科磊具有完整的產品線及解決方案,更能符合客戶的需求。 

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